自紫外激光出現以來，準分子激光光器在紫外線“冷加工”應用領域占主導地位，

但是，準分子技術也存在著很多缺陷：所有的準分子激光均含有有毒氣體，特殊氣體的更換、貯存、調節過程十分繁瑣。


同時，它們體積大，價格昂貴，操作和維護成本高；


不但如此，準分子激光輸出端還存在著方矩形大、空間質量差等問題，嚴重地限制了光束的聚焦，因而必須采用掩模模板。


準分子激光器對于一步鉆出相同形狀的孔和重復性(如加工噴墨打印機磁鼓噴嘴上的孔)有很好的工作，但一般來說效率不高，只有1%的脈沖能作用于加工表面，而其他約99%的光能在模板上流失。


另外，掩模法的靈活性有限，如果圖形變化需要更換掩模板，整個加工過程必須停止。


固體紫外激光器的應用一直受到輸出功率不足的限制，不能滿足加工需要。
 
隨著更可靠的半導體泵固體技術和更可靠的三倍頻機制的發展，情況發生了變化。


新的三倍頻半導體泵固體激光成為準分子激光的競爭對手，能量密度水平相當，但重復頻率更高，光束質量更好。


良好的光束質量和卓越的聚焦能力使您能夠擺脫掩模板進行加工。光束通過計算機控制的掃描振動鏡系統傳輸到工作臺的任何位置），并使用CAD/CAM軟件通過直接雕刻進行鉆孔、刻線或切割。


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